°­ÀÇ °èȹ¼­ ¹× °­ÀÇ·Ï

2000³â 1Çб⠰­ÀÇ°èȹ¼­

±â°è¿ä¼Ò¼³°è1

¿ù3±³½Ã, ¼ö1,2±³½Ã

ÇкÎ

ÀüÀÚ°øÇа³·Ð

¿ù1,2±³½Ã

ÇкÎ

ÀüÀÚ°øÇнÇÇè

¸ñ8,9±³½Ã

ÇкÎ

±â±¸ÇÐ

¸ñ5,6±³½Ã

ÇкÎ

 

°­ÀÇ·Ï

±â°è¿ä¼Ò¼³°è1

 

 

ÀüÀÚ°øÇа³·Ð

 

 

ÀüÀÚ°øÇнÇÇè

 

 

±â±¸ÇÐ

 

 

Á¤¹Ð°èÃø°øÇÐ

 

 

MEMS

 

 

 

2000³â 2Çб⠰­ÀÇ°èȹ¼­

±â°è¿ä¼Ò¼³°è2

¿ù3,4±³½Ã,È­9±³½Ã

ÇкÎ

°èÃø°øÇÐ

¿ù6,7±³½Ã,È­2±³½Ã

ÇкÎ

±â°è°øÇÐÀÀ¿ë½ÇÇè1

¼ö1,2±³½Ã

ÇкÎ

Á¤¹Ð°èÃø°øÇÐ

 

´ëÇпø

 

2001³â 1Çб⠰­ÀÇ°èȹ¼­

ÀüÀÚ°øÇа³·Ð

 

ÇкÎ

±â°è¿ä¼Ò¼³°è1

 

ÇкÎ

±â±¸ÇÐ

 

ÇкÎ

ÀüÀÚ°øÇнÇÇè

 

ÇкÎ

MEMS

 

´ëÇпø